Для цитирования:

Шемардов С.Г., Беклемишева А.В., Александров П.А., Васильев А.Л., Беклемишев В.Н. Полиэнергетическая имплантация ионов гелия в кремний. Вестник НИЯУ МИФИ. 2025;14(5):452-456. https://doi.org/10.26583/vestnik.2025.5.8. EDN: YATPCV

For citation:

Shemardov S.G., Beklemisheva A.V., Alexandrov P.A., Vasiliev A.L., Beklemishev V.N. Poly-energy implantation of helium ions into silicon. Vestnik natsional'nogo issledovatel'skogo yadernogo universiteta "MIFI". 2025;14(5):452-456. (In Russ.) https://doi.org/10.26583/vestnik.2025.5.8. EDN: YATPCV